新製品超クリーンフッ素樹脂ポンプシリーズ

TTDシリーズ PTFE製 ダイアフラムポンプ 1/4インチ(約5mm)、JIS10K10A相当フランジまたは3/8インチ(約10mm)、JIS10K20A相当フランジまたは3/4インチ(約20mm)、JIS10K25A相当フランジ口径接続

最大吐出量
Type050 :
11 L/min
Type100 :
27 L/min
Type200 :
54 L/min
Type250 :
64 L/min
Type400 :
95 L/min
基本性能 Type5 : ネジ接続、PPS機構部、フラットバルブ
Type10、Type20:ネジ又はフランジ接続、ボールバルブ又はフラットバルブ
ポリプロピレン(PP)機構部
Type25、Type40:フランジ接続、ポリプロピレン(PP)機構部
ボールバルブ又はフラットバルブ
LOOPED C® スプリング スプール式、サイドポート接続
接液部材質 PTFE
特徴 クラス1000のクリーンルームで製造される、
デバイス向け高純度PTFEポンプシリーズ。
超音波洗浄+クリーンルームが実現する超クリーン仕様に加え、
従来機種を大きく下回るエア消費量が生産コスト削減に貢献します。
5mm口径~40mm口径の幅広いラインナップを用意。 半導体業界に多数採用実績のある従来機種に、更なる進化を加えた新シリーズ。

超クリーンフッ素樹脂ポンプシリーズ 性能・仕様